
製造方式のイノベーション
技術とプロセスの革新
絶え間ないイノベーションで、質の高い発展へと導く
イノベーションで、逆境を超越する


Intelligent Manufacturing
Lean Manufacturing
Intelligent Operations
「デジタル化・精緻化・インテリジェント化」によるスマート生産理念
設備のインテリジェント化、情報のデジタル化、管理の最新化により、スマートファクトリーを構築
自律的監視、分析、意思決定および最適化によるクローズドループ管理


インテリジェントな倉庫保管と物流
自動化とデジタル化を高度に融合させ、無人倉庫保管・物流システムを構築することで、複数の倉庫におけるインテリジェントスケジューリングと常時棚卸を実現しています。これにより出荷効率と精度を向上させ、納期通りに高品質な製品のお届けを保証しています。

インテリジェントなリアルタイム・プランニングとスケジューリング
リアルタイムの生産データに基づいたシミュレーション環境を構築し、ディープラーニングアルゴリズムエンジンを使用することで、広域で最適な生産スケジューリングをリアルタイムで作成しています。完全自動化された物流システムと組み合わせて、インテリジェントな生産システムの構築を実現しています。

品質トレーサビリティ
QMS(品質管理システム)により意思決定の科学化およびインテリジェント化を実現し、業務プロセスの情報化と品質監視データのデジタル化を実現しています。また、製品品質情報の正確なトレーサビリティを実現し、製品の非常に高い信頼性と一貫性を確保しています。

インテリジェントなウエハー欠陥検査
高濃度ドープ亀裂検出技術のボトルネックを克服し、低/高濃度ドープウエハーの統合型インテリジェント検出を実現しました。亀裂のあるウエハーを時間内に検出することで、プロセス装置のダウンタイムと品質上のリスクを低減しています。これにより、プロセス品質を向上させ、出荷時の品質リスクを低減しています。

データインテリジェンス解析
26の検査工程のデータをリアルタイムで検出し、データプラットフォームに報告されます。報告されたデータに対して、AIモデルを活用した「照合、抽出、比較」により分析・監視を自動的に行い、ウエハーの自動検査、自動分類、自動選別を実現し、製品の流れの効率を向上させます。さまざまなお客様の個別のニーズを満たし、有効に管理された製品のお届けを保証することで、お客様の高品質、差別化および個別化するニーズにお応えます。

データ統合プラットフォーム
工場の生産業務データシナリオに基づいて、データフュージョン、データガバナンス、データの可視化を通じて、企業データ資産を蓄積します。工場データ統合プラットフォームを構築し、工場の生産性向上のための意思決定を支援します。
技術とプロセスのイノベーションを推進

FZ法
FZ法によるより高度な単結晶育成です。不純物濃度が低く、単結晶純度が高く、IGBTなどの分野で使用されています。

CZ法
CZ法による単結晶育成です。微小欠陥の制御、酸素含有量の制御により、育成成功率が高い単結晶を成長されます。Memory、Logic、CIS、DDIC、Powerなどの製品分野で使用されています

ポリシング工程
ポリシング工程により、ウエハー表面を高精度に平坦化し、鏡のような表面が得られます

エピタキシャル工程
エピタキシャル工程により、シリコンウエハーの結晶成長による欠陥を低減し、低欠陥密度を実現します